等離子體光譜儀是通過線圈磁場(chǎng)達(dá)到高溫使樣品的狀態(tài)呈等離子態(tài)然后進(jìn)行測(cè)量的，要比普通直讀光譜儀器的檢出限小，精度高，但是在進(jìn)樣系統(tǒng)上要求非常嚴(yán)格。由燈源、光闌、干涉儀、樣品室、檢測(cè)器以及各種反射鏡、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。
高頻振蕩器發(fā)生的高頻電流，經(jīng)過耦合系統(tǒng)連接在位于等離子體發(fā)生管上端，銅制內(nèi)部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發(fā)生管內(nèi)有三個(gè)同軸氫氣流經(jīng)通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環(huán)繞等離子體起穩(wěn)定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。
等離子體光譜儀特點(diǎn)：
(1)以電荷耦合器件陣列作為檢測(cè)器，對(duì)光譜的掃描不必移動(dòng)光柵，可進(jìn)行瞬態(tài)采集，響應(yīng)速度很快，并通過計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)輸出。
(2)采用全息光柵作為分光器件，雜散光低，提高了測(cè)量精度。
(3)應(yīng)用計(jì)算機(jī)技術(shù)，很大地提高了光譜儀的智能化處理能力。
